കാർമാൻഹാസ് മിററുകൾ അല്ലെങ്കിൽ ടോട്ടൽ റിഫ്‌ളക്ടറുകൾ ലേസർ അറകളിൽ റിയർ റിഫ്‌ളക്ടറായും ഫോൾഡ് മിററായും ഉപയോഗിക്കുന്നു, കൂടാതെ ബീം ഡെലിവറി സിസ്റ്റങ്ങളിൽ ബാഹ്യമായി ബീം ബെൻഡറുകളായും ഉപയോഗിക്കുന്നു.
ഏറ്റവും സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്ന മിറർ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റാണ് സിലിക്കൺ; കുറഞ്ഞ ചെലവ്, നല്ല ഈട്, താപ സ്ഥിരത എന്നിവയാണ് ഇതിൻ്റെ ഗുണങ്ങൾ.
മോളിബ്ഡിനം മിറർ വളരെ കടുപ്പമുള്ള പ്രതലത്തെ ഏറ്റവും ആവശ്യപ്പെടുന്ന ഭൗതിക ചുറ്റുപാടുകൾക്ക് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു. മോ മിറർ സാധാരണയായി അൺകോട്ട് ചെയ്യപ്പെടുന്നു.
| സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾ | മാനദണ്ഡങ്ങൾ |
| ഡൈമൻഷണൽ ടോളറൻസ് | +0.000" / -0.005" |
| കനം സഹിഷ്ണുത | ± 0.010" |
| സമാന്തരത്വം : (പ്ലാനോ) | ≤ 3 ആർക്ക് മിനിറ്റ് |
| വ്യക്തമായ അപ്പർച്ചർ (മിനുക്കിയ) | വ്യാസത്തിൻ്റെ 90% |
| ഉപരിതല ചിത്രം @ 0.63um | ശക്തി: 2 അരികുകൾ, ക്രമക്കേട്: 1 ഫ്രിഞ്ച് |
| സ്ക്രാച്ച്-ഡിഗ് | 10-5 |
| ഉൽപ്പന്നത്തിൻ്റെ പേര് | വ്യാസം (മില്ലീമീറ്റർ) | ET (മില്ലീമീറ്റർ) | പൂശുന്നു |
| മോ മിറർ | 30 | 3/6 | കോട്ടിംഗ് ഇല്ല, AOI: 45° |
| 50.8 | 5.08 | ||
| സിലിക്കൺ മിറർ | 30 | 3/4 | HR@106um, AOI:45° |
| 38.1 | 4/8 | ||
| 50.8 | 9.525 |
